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25. - 27. Februar 2020 // Nürnberg, Germany

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Aussteller & Produkte embedded world 2019
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Phosphoreszenzsensor basierend auf OLED-auf-Silizium-Technologie

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Phosphoreszenzsensor basierend auf OLED-auf-Silizium-Technologie

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Das Fraunhofer FEP besitzt eine langjährige Expertise in der Entwicklung und Fertigung hochintegrierter elektrooptischer Bauelemente basierend auf der OLED-auf-Silizium-Technologie. Diese ist für die Realisierung hochauflösender Mikrodisplays für AR und VR Brillen etabliert und wird nun immer stärker für optische Sensorlösungen weiterentwickelt.

So entstanden bereits optische Fingerprint-Sensoren durch die Verschmelzung von Display und Bildsensor in einem sogenannten bi-direktionalen OLED-Mikrodisplays: Neben der Displayfunktion dienen die Displaypixel als smarte Beleuchtung des aufliegenden Fingers, dessen Strukturen über die eingebetteten Photodioden detektiert werden.

Nun gingen die Forscher weiter und entwickelten einen miniaturisierten Phosphoreszenzsensor. In diesem wird ein Marker durch blaues, moduliertes OLED Licht angeregt und die Phosphoreszenzantwort innerhalb des Sensorchips direkt detektiert. Der Marker bestimmt den zu messenden Stoff; eine typische Anwendung ist die Messung der Sauerstoffkonzentration.

Warum nicht auf kommerzielle Sensoren zurückgreifen? Die Herausforderung lag in der Konzeption eines extrem kleinen Sensors, der alle Funktionalitäten vereint und durch die geringe Größe perspektivisch preisgünstig gefertigt werden kann. Hierfür wurden die OLED-Ansteuerung und das Sensor-Frontend in den Siliziumchip integriert und unterschiedliche Anordnungen von Anregungs- und Detektionsbereichen untersucht. Entstanden ist in erster Stufe nun ein miniaturisierter Phosphoreszenzsensor. Dieser ist gerade daumennagelgroß und kombiniert Marker und Sensor in einem einzigen Bauelement. Er besteht aus einer blauen OLED, die gemeinsam mit einem kommerziell verfügbaren Marker auf dem Siliziumchip integriert ist.

Momentan ist der Sensor auf die Detektion von Sauerstoffveränderungen ausgelegt. Mit diesem ersten Aufbau wurde ein Funktionsnachweis des Bauelementes erreicht und der  miniaturisierte Sensorchip kann für Sauerstoffmessungen in Gasen eingesetzt werden. Darüber soll der Sensorchip als Plattform für zukünftige Entwicklungen z.B. die Messung weiterer Parameter oder der Einsatz in anderen Umgebungsbedingungen dienen.

Der aktuelle Sensor emittiert auf einer Fläche von ca. 4,7 x 2,2 mm² blaues Licht für die Anregung des sauerstoffsensitiven Markers. Die Abklingzeit des emittierten Markerlichtes ist ein Parameter für die Sauerstoffkonzentration der Umgebung. Das deutlich geringere Phosphoreszenzsignal wird über integrierte Silizium-Photodioden aufgenommen, im Chip lokal verstärkt und anschließend hinsichtlich der Phasenverschiebung zum Erregersignal bewertet. Perspektivisch soll der Chip deutlich verkleinert werden, das Ziel ist hierbei <2x2 mm² Gesamtchipgröße.

Durch die Vorteile des innovativen Phosphoreszenzsensors – der geringen Baugröße, der Vereinigung von Marker und Sensor auf einem Chip sowie der schnellen und genauen Auswertung der Daten - sehen die Forscher weitere Anwendungsbereiche, in denen das Sensorkonzept zum Einsatz kommen soll.

Die Überwachung und Auswertung von Zellkulturen in sehr kleinen Einwegkulturgefäßen oder in Bioreaktoren ist hierfür ein interessantes Anwendungsbeispiel. „Single-Use-Bioreaktoren“ bieten meist nur kleinsten Bauraum und eine begrenzte Anzahl an Ports, über die Messsysteme angeschlossen werden können. Zukünftig soll das Sensorsystem in Richtung Multiparametermessung weiterentwickelt werden. Auch das Monitoring von Flüssigkeiten nach dem Füllprozess im Bereich der Pharmazie in Blistern oder zur Qualitätskontrolle von sauerstoffempfindlichen Arzneimitteln ist denkbar. Für solche (Weiter-) Entwicklungen ist das Fraunhofer FEP sehr an Projekt-Partnerschaften interessiert.

Auf der embedded world 2019, vom 26. – 28. Februar 2019, in Nürnberg, stellen die Wissenschaftler des Fraunhofer FEP den miniaturisierten Fluoreszenzsensor zur Sauerstoffmessung erstmals am Fraunhofer-Gemeinschaftsstand in Halle 4, Stand Nr. 4-470 vor. 

Phosphoreszenzsensor basierend auf OLED-auf-Silizium-Technologie ist folgenden Produktgruppen zugeordnet:

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